潜水式换能器
使用潜水换能器 400 kHz+600 kHz/1 MHz+2 MHz，可灵活且经济高效地进行改造
由不锈钢或塑料（例如：PVDF或PFA）制成的封装换能器，安装在现有水槽的底部或侧壁。除了4英寸、6英寸和8英寸基板的标准系统外，还提供定制的解决方案。
这一灵活的配置允许一个方便的改装与兆声系统在现有水槽。
在世界各地，SONOSYS®代表的未来安方案。这尤其适用于频率为400 kHz/600 kHz/1 MHz和2 MHz的Megasonic系统。
极为均匀的能量传输确保了迄今为止未达到的清洁性能，同时为微结构提供了保护。世界上的：我们的换能器系统，拥有正在申请的压电陶瓷，可以实现40%以上的声压或高达30%的效率。
应用：
基板、半导体晶圆、微零件和微系统（MEMS）的清洁，最大可达200毫米，光致抗蚀剂在LIGA内的去除技术，以及蚀刻工艺。
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